操作涡轮分子泵抽气系统

  1个装有单独粗抽管路的涡轮分子泵抽气零碎的操作法子与撮合泵抽气零碎雷同。在初步粗抽曩昔，高真空阀和粗抽阀是关着的，而前级管道阀是掀开的。起首封锁前级阀，发起粗抽泵（兼前级泵），掀开粗抽阀初步对真空室截止抽气。在真空室内的压力降到1五0~100Pa时封锁粗抽阀，掀开前级管道阀，再发起涡轮分子泵（需先接通冷却零碎）。假设分子泵出口处装有液氮冷阱，则应在泵加快到额外转速后（1般需五~10min）加注液氮。
粗抽零碎的配置随真空室的容积的大小而有所差距。对五00L/s或更小的涡轮分子泵来讲，可采纳1台双级旋片泵；1000L/s以上的涡轮分子泵则采纳以凝滞泵为前级泵的罗茨泵机组。在压力为100到1五0Pa时封锁粗抽阀，把真空室切换到涡轮分子泵上。对某些泵，如许做会引起渺小而滞后的瞬时减速，但这对抽气并没有影响。正如撮合泵抽气零碎那样，涡轮分子泵零碎中的最首要的精力是水蒸气，其抽气年华将受液氮冷阱抽速的支配。假设不消液氮冷阱，那末这个零碎抽除水蒸气的速度就会比一样抽速的无冷阱撮合泵略慢1些。在高真空抽气过程的起始阶段，泵的很大的未经烘烤的内轮廓会吸附水，而后再在较低的压力下从新监管出来。这类效应在无阀门的零碎中更加体味打听，因为它大约比未披露在压力高于1五0Pa的空气环境的有阀门的零碎吸附更多的水蒸气。
    零碎停机时，先封锁高真空阀，假设有液氮冷阱的话，还要将冷阱加热。在冷阱达到均衡温度后，关掉前级管道阀，再堵截涡轮分子泵电动机的电源使分子泵的转子减速。1般来讲，到泵转子彻底进行需要颇为钟或更长的年华。在分子泵转子减速期间，来自前级管道的碳氢化合物和涡轮分子泵的光滑油蒸气会迅速地向泵的进气口上方区域撮合。为了警戒凝滞泵油蒸气和涡轮分子泵光滑油蒸气的返流，在堵截涡轮分子泵电动机的电源后，要用1股单调的反向气流对分子泵截止放气。例如，应当在泵转子速度降落到最大转速的五0％支配时，在泵进气口上方的某处或在转子组件上部连气儿充入氩气或氮气，直到泵内压力达到大气压。经过从阀门３（见图1）充入气体便可适外地完成这1操作。当涡轮分子泵以额外速度运转时，不该每每充入压力为大气压的气流。如许做对轴的寿命是不利的。之后级管道阀封锁后，即可关掉凝滞泵零碎，并用放气阀对凝滞泵内截止放气。停机后应当即关掉冷却水以警戒内部冷凝。在正常义务时，可把水温调节到略高于露点来消除泵体内部大约形成的冷凝物。发起零碎要先接通冷却水流，掀开前级管道阀门，再同时发起凝滞泵和涡轮分子泵。在泵加快到额外转速（1般为五到10min）后，便可加注液氮冷阱。而后便可按上节所介绍的程序对真空室截止抽气。
    上面1种所给出的是不消高真空阀门的抽气零碎的操作要比有阀门的抽气零碎烦琐许多。操作时，先掀开冷却水和前级管道阀，并同时发起凝滞泵和涡轮分子泵。如粗抽泵选择得当使真空室的粗抽年华即是加快年华，那末真空零碎就能在没有泵油蒸气返流的环境下把真空室抽到其本底压力。
    无阀门零碎在放气和停机时，起首封锁前级管道阀，等泵转速降落到最大转速的五0％时再在泵的上方充入单调气体。当零碎充到大气压时应封锁放气阀门，否则会形成真空室过压。而后按上述介绍的法子关掉凝滞泵并停掉冷却水。没有单设粗抽管路的涡轮分子泵零碎的操作：先掀开分子泵冷却零碎和前级管路阀，并同时发起前级（粗抽）凝滞泵和涡轮分子泵。假设粗抽泵（前级泵）选择得当，使真空室的粗抽年华即是分子泵的加快（发起）年华，则真空零碎就能在没有泵油蒸汽返流的环境下把真空室抽到其本底压力。
    该零碎在停机前，要先封锁前级管路阀，而后堵截分子泵电源和封锁冷却水。平分子泵转速降落到额外义务转速的1半时，再在泵的出口处充入单调气体，当零碎充到大气压力后，应封锁放气阀门。根据需要在前级阀封锁后的任何时辰停掉前级泵零碎。

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